ステージ・システム設計製作

カスタムオーダーで時間と工数の削減を
最高レベルの平坦度を持つグラナイト石定盤と超精密位置決めの融合

50年以上の経験と技術を持つテクノロジーリーダーからの提案

時間と工数を減らしませんか?

国内の機械メーカー、装置メーカーでは精密位置決めをイチから設計し、ステージやアクチュエータを自ら調達して製造しているケースが多くあります。

しかし、この場合、時間も工数も多く必要となります。精密位置決めは加工や測定、分析等の肝となる部分であり、そこは専門家と連携することや、すでに高精度にユニット化されている位置決め製品を採用するのも選択肢の一つです。

精密位置決めだけでは不十分

ワークを載せたステージは高速に動き高精度な位置決めを実現していますが、そのスピードと精度は年々向上し要求も高くなっています。

高速動作や激しい加減速には振動がつきもので、停止後もしばらくは装置内に微妙な振動が残り、加工や測定の精度および速度の妨げになります。

こうした振動を最小限に抑え収束時間を短くするため、装置は堅くて重量のある土台をもとに作られますが、特にグラナイトを研磨して作った土台は堅くて重く、振動を最小限に抑えるのに最適です。

弊社は最高レベルの平坦度を持ったグラナイト石定盤を製作することが可能です。これらの石定盤は、半導体、ライフサイエンス、フォトニクス、産業オートメーションの分野において、高い精度が必要なアプリケーションに用いられています。

PI社グループだからできるソリューションを

弊社はドイツ資本である精密位置決めメーカーPhysik Instrrumente社(PI社)の子会社にあたるピーアイ・ジャパン株式会社のグループ傘下となりました。

PI社は、ドイツ カールスルーエに本社を持ち、ライフサイエンス、半導体製造、フォトニクス、産業オートメーションなどのハイテクビジネスセクターでの高精度ポジショニングの市場およびテクノロジーリーダーです。

50年以上の経験と技術を持つPIグループの一員となったことで、1軸~複数軸の超精密位置決めシステムや精密計測装置、製造設備の開発から設計、製造、据付けに加え、高い安定性を持つグラナイトベースを融合させたエンジニアドシステム製品が提供可能となりました。

精密小型エアスライド XYステージ GRANAS-10XY-GL

Granas-10XY-GL レーザ、ガルバノとXY超精密小型ステージが同期連動するシステムです。

特徴
  • レーザー各種に対応可能
  • アクティブ除振台、ポーラス吸着テーブル採用
用途
  • レーザー各種レーザー微細加工(溶接、切断、スクライブ、穴あけ、他)
  • レーザーマーカ
  • 計測機器

ガルバノ連動超精密ステージ GRANAS-40XY-GL

レーザ、ガルバノとXY超精密小型ステージが同期連動するシステムです。

特徴
  • レーザー各種に対応可(532nm,パルスレーザー、他)
  • キヤノン製ガルバノスキャナ搭載
  • XY超精密グラナイトエアスライダー搭載
  • コントローラPowerPMAC搭載
用途
  • レーザー微細加工(溶接、切断、スクライブ、穴あけ、他)
  • レーザーマーカ
  • 計測機器

精密エアスライダー1軸テーブル GRANAS-30X

高精度な真直性、定速性、位置決めを必要とする検査機、加工機に最適です。

特徴
  • 主用部材にグラナイト(斑レイ岩)を使用した高精度でコストパフォーマンスに優れたエアスライダーです。
  • 摺動抵抗が極めて小さく高い位置決め精度が可能です。
  • スライダー、駆動部共に完全非接触(潤滑油不要)のためクリーンでメンテナンスフリーです。
  • 軌道上を非接触で移動するため、高い真直精度が得られます。
用途
  • 半導体・液晶露光装置
  • 半導体・液晶検査装置
  • 高精度形状検査装置
  • 超精密加工装置、他

レーザ描画用CAMソフト

システムを構築する上での各種ソフトウェアの制作も可能です。
仕様に合わせたカスタマイズが可能です。

精密位置決めのカスタムオーダーで時間と工数を削減
精密位置決め+グラナイト定盤で最高レベルの精度をします
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